用于清洗襯底的方法專利登記公告

專利名稱：用于清洗襯底的方法

摘要：提供了一種用于清洗襯底的方法。在該方法中，提供了非牛頓流體流，其中至少部分流呈現(xiàn)栓塞流。為了從襯底表面去除顆粒，放置襯底表面與呈現(xiàn)栓塞流的流部分接觸以使呈現(xiàn)栓塞流的流部分在襯底表面上移動。也描述了用于清洗襯底的另外的方法和裝置。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201210164517.5

專利申請（專利權(quán)）人：蘭姆研究有限公司

專利發(fā)明（設(shè)計）人：J·M·德拉里奧斯;M·拉夫金;J·法伯;M·科羅利克;F·C·雷德克爾

主權(quán)項(xiàng)：一種用于清洗襯底的方法，包括：以非牛頓流體填充腔室，該腔室具有輸入端和輸出端；在輸入端將襯底引入到腔室中，并且將懸浮的襯底懸浮在非牛頓流體中；關(guān)閉到輸入端的通道；以及迫使另外非牛頓流體進(jìn)入腔室，從而非牛頓流體的流在襯底的表面移動并且非牛頓流體在輸出端流出。

專利地區(qū)：美國