一種碳化硅納米線及其陣列的制備方法專利登記公告

專利名稱：一種碳化硅納米線及其陣列的制備方法

摘要：一種碳化硅納米線及其陣列的制備方法，屬于納米技術(shù)領(lǐng)域。包括如下步驟：（1）將正硅酸乙酯加入乙醇水溶液中，向其中滴入氨水，混合均勻后，再向其中加入納米碳粉，混合均勻；（2）凝膠化處理，所得凝膠經(jīng)干燥、研磨，得到干凝膠粉末；（3）取上述干凝膠粉放入氧化鋁舟中一側(cè)，單晶硅片放入氧化鋁舟的另一側(cè)，將所述氧化鋁舟放入氧化鋁管中，其中所述氧化鋁舟上的干凝膠粉居于氧化鋁管的正中央，單晶硅片置于氧化鋁管中的下風(fēng)口處；在氬氣氣氛下，升溫，恒溫反應(yīng)2~6小時(shí)，反應(yīng)結(jié)束后，降至室溫，在氧化鋁管壁上得到碳化硅納米線，在單晶硅片上

專利類型：發(fā)明專利

專利號(hào)：CN201210166884.9

專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：太原理工大學(xué)

專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：許并社;齊曉霞;馬淑芳;賈偉;梁建;余春燕

主權(quán)項(xiàng)：一種碳化硅納米線及其陣列的制備方法，包括如下步驟：（1）將乙醇與去離子水混合得到乙醇水溶液，向所述乙醇水溶液中加入正硅酸乙酯，然后再向其中滴入氨水，混合均勻；（2）向所述步驟（1）中混合均勻后的溶液中加入納米碳粉，混合均勻；（3）向經(jīng)所述步驟（2）混合均勻后的溶液中加入六次甲基四胺水溶液，形成凝膠，所得凝膠經(jīng)干燥得到干凝膠，對(duì)所述干凝膠進(jìn)行研磨，得到干凝膠粉；（4）取上述干凝膠粉放入清洗干凈的氧化鋁舟中一端，單晶硅片放入氧化鋁舟的另一端，然后將所述氧化鋁舟放入氧化鋁管中；所述氧化鋁舟中放置所述干凝膠粉的一

專利地區(qū)：山西