研磨墊清洗用高壓去離子水噴射裝置及化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備專利登記公告

專利名稱：研磨墊清洗用高壓去離子水噴射裝置及化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備

摘要：本發(fā)明提供了一種研磨墊清洗用高壓去離子水噴射裝置以及化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備。研磨墊清洗噴射裝置包括：研磨墊清洗用高壓去離子水接入部件，其具有用于接收研磨墊清洗用高壓去離子水的研磨墊清洗用高壓去離子水接收端口以及接入部件連接端口；角度調(diào)節(jié)部件，其具有第一連接端口和第二連接端口；以及研磨墊清洗用高壓去離子水噴出部件，其具有用于噴出研磨墊清洗用高壓去離子水的噴出端口以及噴出部件連接端口；所述研磨墊清洗用高壓去離子水接入部件與所述角度調(diào)節(jié)部件相連接分別通過(guò)所述接入部件連接端口和所述第一連接端口以所述角度調(diào)節(jié)部件能夠調(diào)節(jié)

專利類型：發(fā)明專利

專利號(hào)：CN201210191268.9

專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司

專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：陳洪雷;邵爾劍;楊陽(yáng)

主權(quán)項(xiàng)：一種研磨墊清洗用高壓去離子水噴射裝置，其特征在于包括：研磨墊清洗用高壓去離子水接入部件，其具有用于接收研磨墊清洗用高壓去離子水的研磨墊清洗用高壓去離子水接收端口以及接入部件連接端口；角度調(diào)節(jié)部件，其具有第一連接端口和第二連接端口；以及研磨墊清洗用高壓去離子水噴出部件，其具有用于噴出研磨墊清洗用高壓去離子水的噴出端口以及噴出部件連接端口；其中，所述角度調(diào)節(jié)部件與所述研磨液清洗劑噴出部件分別通過(guò)所述第二連接端口和噴出部件連接端口而相互連接，并且所述研磨墊清洗用高壓去離子水接入部件與所述角度調(diào)節(jié)部件相連接分別通

專利地區(qū)：上海