一種使用雙激光光束的太陽(yáng)能晶圓精密加工方法及裝置專利登記公告
專利名稱：一種使用雙激光光束的太陽(yáng)能晶圓精密加工方法及裝置
摘要：本發(fā)明公開了一種使用雙激光光束的太陽(yáng)能晶圓精密加工方法及裝置，首先用低于太陽(yáng)能晶圓材料加工閾值的照射激光束照射太陽(yáng)能晶圓上的待加工區(qū)域，該區(qū)域吸收了光子能量，材料溫度顯著提高，同時(shí)產(chǎn)生大量載流子，然后用加工激光束照射太陽(yáng)能晶圓上的相同區(qū)域，加工激光束的能量高于太陽(yáng)能晶圓材料加工閾值，用于進(jìn)行對(duì)晶圓材料的加工。本發(fā)明兩束激光來(lái)自于同一激光器或兩臺(tái)激光器，由于兩束激光疊加的非線性效應(yīng)，它們的總能量低于達(dá)到同等效果的單束激光的能量，提高了激光能量的使用效率，且采用相對(duì)較低功率激光器來(lái)獲得同樣加工速度，或者使用同
專利類型：發(fā)明專利
專利號(hào)：CN201210198132.0
專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：合肥知常光電科技有限公司
專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：陳堅(jiān);吳周令
主權(quán)項(xiàng)：一種使用雙激光光束的太陽(yáng)能晶圓精密加工方法，其特征在于：首先用低于太陽(yáng)能晶圓材料加工閾值的照射激光束照射太陽(yáng)能晶圓上的待加工區(qū)域，該區(qū)域吸收了光子能量，材料溫度顯著提高，同時(shí)產(chǎn)生大量載流子，然后用加工激光束照射太陽(yáng)能晶圓上的相同區(qū)域，加工激光束的能量高于太陽(yáng)能晶圓材料加工閾值，用于進(jìn)行對(duì)晶圓材料的加工。
專利地區(qū)：安徽
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