一種傳感器陣列與信號(hào)處理電路的三維集成方法專(zhuān)利登記公告

專(zhuān)利名稱(chēng)：一種傳感器陣列與信號(hào)處理電路的三維集成方法

摘要：本發(fā)明公開(kāi)了半導(dǎo)體三維集成技術(shù)領(lǐng)域的一種傳感器陣列與信號(hào)處理電路的三維集成方法；包括以下步驟：1）在絕緣襯底器件的頂層單晶材料上制造傳感器；2）在信號(hào)處理電路襯底表面制造信號(hào)處理電路和金屬互連線，并在金屬互連線上制造金屬凸點(diǎn)；3）進(jìn)行鍵合過(guò)程或三維互連過(guò)程；4）對(duì)鍵合金屬凸點(diǎn)與金屬凸點(diǎn)進(jìn)行金屬熱壓鍵合；5）去除臨時(shí)鍵合高分子層和輔助圓片；6）制造平面互連線。本發(fā)明的有益效果為：實(shí)現(xiàn)傳感器與信號(hào)處理電路的集成，并實(shí)現(xiàn)傳感器的懸空，并利用三維互連線實(shí)現(xiàn)傳感器與信號(hào)處理電路的電信號(hào)連接，具有制造過(guò)程簡(jiǎn)單、能夠?qū)?/p>

專(zhuān)利類(lèi)型：發(fā)明專(zhuān)利

專(zhuān)利號(hào)：CN201210211266.1

專(zhuān)利申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：清華大學(xué)

專(zhuān)利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：王喆垚;陳倩文;宋振;唐浩

主權(quán)項(xiàng)：一種傳感器陣列與信號(hào)處理電路的三維集成方法，其特征在于，包括以下步驟：1）在絕緣襯底器件（110）的頂層器件層材料（102）上制造傳感器（103）；2）在信號(hào)處理電路襯底（200）表面制造信號(hào)處理電路（201）和金屬互連線（202），并在金屬互連線（202）上制造金屬凸點(diǎn)（203）；3）進(jìn)行鍵合過(guò)程或三維互連過(guò)程；在進(jìn)行鍵合過(guò)程或三維互連過(guò)程時(shí)，在絕緣襯底器件（110）制造m個(gè)三維互連線（106）；m個(gè)三維互連線（106）均至少穿透頂層器件層材料（102）；4）分別在m個(gè)三維互連線（106）外端制造鍵合金

專(zhuān)利地區(qū)：北京