電子束感生電流樣品臺(tái)專利登記公告
專利名稱：電子束感生電流樣品臺(tái)
摘要： 電子束感生電流樣品臺(tái)是掃描電鏡中用于對(duì)半導(dǎo)器件的ｐ－ｎ結(jié)進(jìn)行觀察和研究的裝置，它是為解決應(yīng)用普通樣品測(cè)角臺(tái)電子束感生電流信號(hào)引出困難而設(shè)計(jì)，該裝置是將吸收電流放大器作為信號(hào)的一個(gè)引出端，另一個(gè)引出端通過(guò)樣品夾具、彈簧、接觸彈片、表面導(dǎo)電環(huán)等部件與吸收電流引出裝置構(gòu)成電流引出回路。$本實(shí)用新型應(yīng)用普通樣品測(cè)角臺(tái)，不影響其它信號(hào)及樣品的觀察，樣品更換簡(jiǎn)單，移動(dòng)不受限制，可進(jìn)行平面、斷面的電子束感生電流信號(hào)觀察。
專利類型：實(shí)用新型專利
專利號(hào)：CN88214251.8
專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：趙永生
專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：趙永生
主權(quán)項(xiàng)： 電子束感生電流樣品臺(tái)是掃描電鏡中觀察電子束感生電流信號(hào)的電流引出裝置，其特征在于本實(shí)用新型應(yīng)用普通樣品測(cè)角臺(tái)將電子束感生電流信號(hào)的一端通過(guò)吸收電流放大器，另一端通過(guò)樣品夾具（１）、彈簧（４）、接觸彈片（６）、表面導(dǎo)電環(huán)（１６）引出。
專利地區(qū)：吉林
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