等離子體加速器法離子鍍膜裝置專利登記公告
專利名稱:等離子體加速器法離子鍍膜裝置
摘要: 一種等離子體加速器法離子鍍膜裝置,屬于物理汽相沉積技術(shù)。本實(shí)用新型注重霍耳加速器效應(yīng)的使用,加速器中帶有圓柱狀永久磁鐵,永久磁鐵與屏蔽相匹配,因此產(chǎn)生的電離蒸汽質(zhì)量高、加速合理、鍍膜效果好,改變了現(xiàn)有技術(shù)液滴微團(tuán)多、加速和鍍膜效果較低的現(xiàn)狀??捎糜诜陆鹧b飾、工模具硬化等領(lǐng)域。
專利類型:實(shí)用新型專利
專利號(hào):CN89200444.4
專利申請(qǐng)(專利權(quán))人:北京長(zhǎng)城鈦金技術(shù)聯(lián)合開發(fā)公司
專利發(fā)明(設(shè)計(jì))人:王殿儒
主權(quán)項(xiàng):一種等離子體加速器法離子鍍膜裝置,其特征在于:它使用帶有圓柱狀永久磁鐵3的霍耳型等離子體加速器11作為蒸發(fā)離化源。加速器11的陰極底座4中放入永久磁鐵3,把永久磁鐵3與筒屏蔽8和平面屏蔽9相匹配產(chǎn)生穩(wěn)定運(yùn)行所需的磁場(chǎng)分布和鍍膜所要求的粒子的加速度以及粒子分布效果。
專利地區(qū):北京
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