對稱雙光束基準光平面發(fā)生器專利登記公告
專利名稱:對稱雙光束基準光平面發(fā)生器
摘要: 一種對稱雙光束基準光平面發(fā)生器,屬于機械幾何量形位誤差測量領(lǐng)域。本實用新型是由四塊光學(xué)元件及相應(yīng)的機械夾持調(diào)節(jié)機械組成。本裝置可產(chǎn)生兩束對稱光束進行水平方向掃描,這兩束光的對稱線構(gòu)成基準光平面,可用于大尺寸高精度平面度測量,特別適合形狀復(fù)雜的大工件平面度測量,測量精度可達0.5×10-6(L為測量點到出光點的距離,單位米)。
專利類型:實用新型專利
專利號:CN89200978.0
專利申請(專利權(quán))人:清華大學(xué)
專利發(fā)明(設(shè)計)人:劉興占; 陳博一; 梁晉文; 花國梁
主權(quán)項: 一種對稱雙光束基準光平面發(fā)生器,由激光光源,平面反射鏡[1]、[2]、五棱鏡[3]、斜棱鏡[4]和直角棱鏡[5],以及相應(yīng)固定調(diào)這機構(gòu)所組成,其特征在于底座[6]與激光光源固定在同一底板上,底座[6]內(nèi)放置有直角棱鏡[5],底座側(cè)壁有一通孔可使激光光束水平射入底座,經(jīng)棱角棱鏡垂直向上反射,反射鏡[1]固定在調(diào)節(jié)架[7]上并超過內(nèi)套管[8]與底座固定在一起,五角棱鏡[3]、斜棱鏡[4],固定在同一支架[9]上,平面反射鏡[2],固定在支架[10]上,調(diào)節(jié)機構(gòu)[12]可對反射鏡[2]進行調(diào)整,支架[9]和支
專利地區(qū):北京
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