光學(xué)精密平移器專利登記公告
專利名稱:光學(xué)精密平移器
摘要: 本實(shí)用新型是一種光學(xué)精密平移器,可實(shí)際用于在采取閉環(huán)控制的光學(xué)儀器中,推動(dòng)光學(xué)元件或機(jī)械元件作微米級(jí)和亞微米級(jí)的精密平移。它包括用三個(gè)疊片式微位移驅(qū)動(dòng)元件,按等邊三角形均布,粘接在兩個(gè)光學(xué)基板之間,采用位移平衡調(diào)節(jié)控制電路,可通過(guò)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)器上的外加電壓,改變其變形量,從而使其位移具有高精度的平衡和所要求的平移范圍。其平移精度高,傾斜誤差小于0.1″,平移范圍0.01μm~±20μm,響應(yīng)速度小于1ms。
專利類型:實(shí)用新型專利
專利號(hào):CN89213057.1
專利申請(qǐng)(專利權(quán))人:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
專利發(fā)明(設(shè)計(jì))人:凌寧; 官春林; 陳東紅
主權(quán)項(xiàng): 一種包括壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)件和兩個(gè)帶孔的光學(xué)基板的光學(xué)精密平移器,其特征在于采用三個(gè)疊片式的微位移驅(qū)動(dòng)器1作驅(qū)動(dòng)元件,并且按等邊三角形分布、粘接在光學(xué)上基板2和光學(xué)下基板3之間,采用一個(gè)可實(shí)現(xiàn)單電源多路控制、并且可通過(guò)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)器1上的外加電壓,改變驅(qū)動(dòng)器1的變形量、從而實(shí)現(xiàn)其位移具有高精度的平衡和所要求的平移范圍的位移平衡調(diào)節(jié)控制電路。
專利地區(qū):四川
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