內(nèi)光路偏心光束自動(dòng)調(diào)焦儀專利登記公告
專利名稱：內(nèi)光路偏心光束自動(dòng)調(diào)焦儀
摘要： 一種內(nèi)光路偏心光束自動(dòng)調(diào)焦儀，采用內(nèi)光路偏心光來作為檢測光源，用二象限硅光電池來接收離焦信號，其光電檢測頭安裝在顯微鏡本體的構(gòu)件上?？捎糜陲@微電測量儀，線寬輪廓測量儀，光盤等的自動(dòng)調(diào)焦。$本自動(dòng)調(diào)焦儀調(diào)焦范圍大，可達(dá)１０００μｍ，調(diào)焦精度高，≤±０．１μｍ。
專利類型：實(shí)用新型專利
專利號：CN89213612.X
專利申請（專利權(quán)）人：清華大學(xué)
專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：薛實(shí)福; 李慶祥; 汪春慶; 許先海
主權(quán)項(xiàng)： 一種由光電檢測頭，顯微鏡本體，控制系統(tǒng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)及減速機(jī)構(gòu)組成的自動(dòng)調(diào)焦儀，其特征是采用內(nèi)光路偏心光束作為檢測光源，用二象限硅光電池來接收離焦信號，其光電檢測頭（８）安裝在顯微鏡本體（９）的構(gòu)件上（主光路的一側(cè)），在顯微鏡工作臺(tái)升降機(jī)構(gòu)處設(shè)置驅(qū)動(dòng)電機(jī)及減速機(jī)構(gòu)（１１）。
專利地區(qū)：北京
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