橫向效應硅——藍寶石力敏元件專利登記公告
專利名稱：橫向效應硅——藍寶石力敏元件
摘要： 本實用新型是以具有彈性的、絕緣的藍寶石為應變基片并在其上外延的單晶硅，通過平面半導體微電子工藝制作橫向效應Ｘ型力敏元件，成X形。其四端面上是鋁膜電極，具有體積小、穩(wěn)定性好。精度和工作溫度高等特點，是理想的單一力敏元件。可利用壓力、荷重、位移、加速度等力學量傳感器裝配工藝，制作上述硅——藍寶石力學量傳感器。
專利類型：實用新型專利
專利號：CN89214111.5
專利申請（專利權(quán)）人：機械電子工業(yè)部第四十九所
專利發(fā)明（設計）人：姜海平; 孫小冬
主權(quán)項： 一種力學量敏感元件，是以蘭寶石為應變基片，其上外延單晶硅膜，其特征在于它是一個成Ｘ形的單一元件，其四端是電極鋁膜。
專利地區(qū)：黑龍江
Tags: 黑龍江
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