無定形硅感光鼓的制備裝置專利登記公告
專利名稱：無定形硅感光鼓的制備裝置
摘要： 本實用新型提出了用雙弧形放電陽極結構制備靜電復印用無定形硅感光鼓。在該裝置中反應氣體流向與鼓基表面平行相切而不是垂直于表面，制得的無定形硅感光鼓具有完整、無龜裂的表面和良好的充放電性能。$在雙弧形放電陽極外圍再設置金屬網罩或是聚四氟乙烯罩，提高了感光鼓的沉積速率，并改善了軸向均勻性。
專利類型：實用新型專利
專利號：CN89216549.9
專利申請（專利權）人：機械電子工業(yè)部第十八研究所
專利發(fā)明（設計）人：胡堅; 陳煜; 胡宏勛
主權項： 一種靜電復印用無定形硅感光鼓的制備裝置，由反應室、射頻發(fā)生器、反應氣瓶等組成，反應室中有放電陽極、出氣管、鼓基、等離子區(qū)等，其特征是：放電陽極１２采用兩個鏡像對稱的弧形板，放電陽極１２與鼓基５保持同心，出氣管３用柱狀管，放置在鼓基５的兩邊，二個出氣管３ａ和３ｂ的對稱軸與二個弧形板放電陽極１２ａ和１２ｂ的對稱軸成９０°，放電陽極１２和出氣管３均由金屬制成。
專利地區(qū)：天津
Tags: 天津
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