封裝方法專利登記公告
專利名稱:封裝方法
摘要:一種封裝方法,包括:制備微細(xì)粉末,用所述微細(xì)粉末制備微細(xì)粉末膏體,利用所述微細(xì)粉末膏體、玻璃膏體對(duì)蓋板玻璃的封裝線進(jìn)行涂覆處理,對(duì)經(jīng)涂覆處理的所述蓋板玻璃進(jìn)行真空預(yù)燒結(jié),在真空或惰性氣體環(huán)境下,將完成真空預(yù)燒結(jié)的所述蓋板玻璃與基板玻璃對(duì)疊,對(duì)完成對(duì)疊的蓋板玻璃與基板玻璃組合進(jìn)行激光掃描封裝。所述封裝方法可以將預(yù)燒結(jié)后的封裝線高度不均勻性控制在理想范圍內(nèi),明顯降低封裝時(shí)對(duì)激光功率的需求。
專利類型:發(fā)明專利
專利號(hào):CN201110068027.0
專利申請(qǐng)(專利權(quán))人:上海微電子裝備有限公司
專利發(fā)明(設(shè)計(jì))人:韋學(xué)志;陳勇輝
主權(quán)項(xiàng):一種封裝方法,其特征在于,包括:步驟1,制備微細(xì)粉末;步驟2,用所述微細(xì)粉末制備微細(xì)粉末膏體;步驟3,利用所述微細(xì)粉末膏體、玻璃膏體對(duì)第一基板進(jìn)行涂覆處理;步驟4,對(duì)經(jīng)涂覆處理的所述第一基板進(jìn)行真空預(yù)燒結(jié);步驟5,在真空或惰性氣體環(huán)境下,將完成真空預(yù)燒結(jié)的所述第一基板與第二基板對(duì)疊;步驟6,對(duì)完成對(duì)疊的第一基板與第二基板組合進(jìn)行激光掃描封裝。
專利地區(qū):上海
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