封裝裝置及封裝方法專利登記公告
專利名稱:封裝裝置及封裝方法
摘要:本發(fā)明提供一種封裝裝置,包括:載物臺,用于承載用于裝配的封裝結(jié)構(gòu),所屬封裝結(jié)構(gòu)具有第一基板,第二基板,及設(shè)置在所述第一基板和第二基板之間,用于形成至少一腔室的熔料;輻射源,用于加熱所述熔料,使其與所述第一第二基板的連接面處結(jié)合,使上述腔室形成一氣密封裝結(jié)構(gòu);流體源,提供流體束,所述流體束作用于所述第一基板,用于壓緊所述第一基板與所述第二基板之間的熔料。
專利類型:發(fā)明專利
專利號:CN201110068089.1
專利申請(專利權(quán))人:上海微電子裝備有限公司
專利發(fā)明(設(shè)計)人:韋學(xué)志;陳勇輝
主權(quán)項:一種封裝裝置,其特征在于,所述封裝裝置包括:載物臺,用于承載用于裝配的封裝結(jié)構(gòu),所屬封裝結(jié)構(gòu)具有第一基板,第二基板,及設(shè)置在所述第一基板和第二基板之間,用于形成至少一腔室的熔料;輻射源,用于加熱所述熔料,使其與所述第一第二基板的連接面處結(jié)合,使上述腔室形成一氣密封裝結(jié)構(gòu);流體源,提供流體束,所述流體束作用于所述第一基板,用于壓緊所述第一基板與所述第二基板之間的熔料。
專利地區(qū):上海
關(guān)于上述專利公告申明 : 上述專利公告轉(zhuǎn)載自國家知識產(chǎn)權(quán)局網(wǎng)站專利公告欄目,不代表該專利由我公司代理取得,上述專利權(quán)利屬于專利權(quán)人,未經(jīng)(專利權(quán)人)許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如您希望使用該專利,請搜索專利權(quán)人聯(lián)系方式,獲得專利權(quán)人的授權(quán)許可。