氫氧化四甲基銨的回收系統(tǒng)與方法專利登記公告
專利名稱：氫氧化四甲基銨的回收系統(tǒng)與方法
摘要：本發(fā)明關(guān)于一種氫氧化四甲基銨的回收系統(tǒng)與方法，本發(fā)明的設(shè)備系統(tǒng)以及該流程主要是提供一種較為簡(jiǎn)化的設(shè)置與流程，可以將氫氧化四甲基銨(TMAH)與該光阻劑分離，且以較為精簡(jiǎn)的設(shè)備成本與流程提升氫氧化四甲基銨的純度，且進(jìn)一步降低排放出去的廢水對(duì)于環(huán)境的污染。
專利類型：發(fā)明專利
專利號(hào)：CN201110073689.7
專利申請(qǐng)（專利權(quán)）人：敏森工程有限公司
專利發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：陳春森
主權(quán)項(xiàng)：一種氫氧化四甲基銨回收系統(tǒng)，其特征在于包括：一個(gè)收集槽；一個(gè)過(guò)濾器，與該收集槽相連接；一個(gè)陽(yáng)離子樹(shù)脂塔，與該過(guò)濾器相連通；一個(gè)硫酸進(jìn)料槽；一個(gè)第一再生液槽，與該陽(yáng)離子樹(shù)脂塔連通；一個(gè)第二再生液槽，與該陽(yáng)離子樹(shù)脂塔連通；且與該硫酸進(jìn)料槽連通；一個(gè)廢水槽，與該陽(yáng)離子樹(shù)脂塔連通；一個(gè)電透析槽，與該第一再生液槽連通。
專利地區(qū)：臺(tái)灣
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