用于PZT印刷頭制造的作為間隙充填物的光刻膠材料的使用專利登記公告

專利名稱：用于PZT印刷頭制造的作為間隙充填物的光刻膠材料的使用

摘要：一種用于PZT印刷頭制造的作為間隙充填物的光刻膠材料的使用。本發(fā)明提供了一種噴墨印刷頭，包括多個壓電元件和感光填隙層，所述感光填隙層充填各個相鄰壓電元件之間的間隔。形成所述噴墨印刷頭可利用簡化了的方法來將感光填隙層圖案化，并利用激光燒蝕將遮蓋貫穿隔膜的多個開口的隔膜附著材料移除。

專利類型：發(fā)明專利

專利號：CN201210090779.1

專利申請（專利權）人：施樂公司

專利發(fā)明（設計）人：馬克·A·塞呂拉;彼得·J·奈斯特龍;科克-綺·勞;約翰·P·梅爾斯;加里·D·雷丁;張元嘉

主權項：用于形成噴墨印刷頭的方法，包括：將多個壓電元件附著到隔膜上；施加感光填隙層以充填相鄰壓電元件之間的間隔且與所述隔膜接觸；移除相鄰壓電元件之間的間隔中的所述感光填隙層的第一部分并且留下相鄰壓電元件之間的間隔中的所述感光填隙層的第二部分；以及利用相鄰壓電元件之間的間隔中的所述感光填隙層的所述第二部分，將所述多個壓電元件附著到多個電極以提供各個壓電元件和附于其上的所述電極之間的電路。

專利地區(qū)：美國